当废气中的有机物中只含有碳氢、化、氧元素时，经过催化燃烧形成二氧化碳和水。对于一些含S、N、Cl等的杂原子有机化合物，经过催化燃烧后会产生SO2、HCl、NOx等二次污染物，因此对燃烧尾气需要进一步进行处理达标后方可排放。  

  对于低浓度的有机废气，经过吸附和热气流解吸后，废气中的有机物被浓缩，再采用催化燃烧设备进行处理。进入催化燃烧器的气流中有机物的浓度应控制在其爆炸极限下限的25%以下。因此，实际上进入吸附器的有机物浓度应该是远低于其爆炸极限下限的25%。  

  经过催化燃烧后产生的高温烟气的余热。在大多数情况下是用于吸附器的再生，降低设备的运行费用，也可以用于余热锅炉或引入生产工艺中。

利用高温烟气的余热对吸附器进行再生的方式有两种：一是通过冷风机在高温烟气中补充部分新鲜空气，使烟气温度降到吸附剂再生所需要的温度后直接引入吸附器进行吸附剂的再生。二是增加一个气-气换热器，利用高温烟气加热新鲜空气至吸附剂再生所需要的温度后引入吸附器进行吸附剂的再生。