进行工业废气处理的原则是将废气变成无毒、不燃的状态然后再进行废物处理，目前市场上采用工业废气处理的工艺有生物洗涤吸收、等离子除臭、冷凝回收、催化燃烧、活性炭吸附、热力焚烧、光催化氧化等。

1、低温等离子设备：低温等离子废气设备中的介质阻挡放电的过程中，设备内部产生富含极高化学活性的粒子(电子、离子、臭氧和激发态分子等)，它们会与具有较高能量的活性基团发生反应，＊后发生裂解，转化为二氧化碳和水等物质。　　

2、催化燃烧设备：设备理利用贵金属催化剂降低废气中有机物的活化能，在高温下恶臭气体物质与燃料气充分混和，实现完全燃烧，＊后达到净化的目的。　　

3、活性炭吸附设备：当工业废气与柱状活性炭或者颗粒状活性炭充分接触时，气体分子先被吸附至活性炭外表面，小于活性炭孔径的分子经内部扩散转移至内表面，从而达到吸附的效果。　　

4、生物除臭设备：利用微生物新陈代谢过程中需要营养物质这一特点，采用生物法通过专门培养在生物滤池内生物填料上的微生物膜对废臭气分子进行除臭的生物废气处理技术。