通常VOCs的自燃烧温度较高，通过催化剂的活化，可降低VOCs燃烧的活化能，从而降低起燃温度，减少能耗，节约成本。另外，一般（无催化剂存在）的燃烧温度都会在600℃以上，这样的燃烧会产生氮氧化物，就是常说的NOx,这也是要严格控制的污染物。催化燃烧是没有明火的燃烧，一般低于280℃，不会有NOx生成，因此更为安全和环保。

催化燃烧反应原理是有机废气在较低温度下在催化剂的作用下被完全氧化和分解，达到净化气体目的。催化燃烧是典型的气固相催化反应，其原理是活性氧参与深度氧化作用。

在催化燃烧过程中，催化剂的作用是降低反应的活化能，同时使反应物分子富集在催化剂表面上以提高反应速率。借助于催化剂，有机废气可以在较低的起燃温度下无焰燃烧并且在释放大量热量，同时氧化分解成CO2和H2O。

催化燃烧催化剂主要包括贵金属催化剂、非贵金属催化剂、抗硫抗氯催化剂等等。

贵金属催化剂：金属催化剂具有较高的催化活性和选择性，常见的有铂、钯、铑等。其中铂、钯常用于工业废气处理；钯、铑常用于汽车尾气净化。

非贵金属催化剂：非贵金属催化剂以CU和MN为主要活性组分，对醇、醚、酯类等含氧VOCs具有非常高的催化活性。

抗硫抗氯催化剂：主要用于橡胶、石化、化工及制药等含硫含氯VOCs废气以及常规VOCs废气处理。

目前催化剂的失活主要包括以下几种情况：

催化剂结焦、催化剂中毒、催化剂烧结、催化剂机械磨损等，而温度对催化剂的失活影响较大，工作温度越高，老化的速度越快。

催化剂结焦：催化剂在使用中会存在因积碳，覆盖活性位/堵塞孔道而造成失活。

催化剂中毒：催化剂中毒分为物理中毒及化学中毒，物理中毒一般是粉尘等沉积在催化剂表面遮盖活性中心位，这种中毒一般通过吹扫及清洗等物理方法即可恢复活性，而化学中毒一般为杂质分子与催化剂活性物质发生不可逆反应，生成无活性物质，中毒物质一般为含S、Cl、P等。

催化剂烧结：这种情况即高温引起催化剂结构和性能的变化，一般考虑为催化剂比表面积降低及贵金属原子迁移/微晶迁移。

贵金属原子迁移/微晶迁移：贵金属通过碰撞和聚结在表面迁移而产生烧结，一般通过表面改性提高活性组分的分散可以降低贵金属氧化物的表面烧结。